Fabrication : Photolithography Roadmap

我覺得讀書, 有好的圖表是很重要的XD 至少對我來說是這樣. 以下放上一張Lithography的演進表,如果對Lithography的技術已經有點概念, 再回來看這張應該滿有感覺的XD

原文出處:http://chemgroups.northwestern.edu/odom/chem445/Lecture%208%20--%20Nanofabrication.pdf

Fabrication: Wet-Etching - Common Etchant

Fabrication : Dry Etching - RIE (Reactive Ion Etching)

      **Plasma 的用意在于用電性控制帶電離子方向, 藉以增加控制離子撞擊的方向性.