Fabrication : Lithography-Pattern Generation (Fig)

產生Pattern的方法有兩種, 一種是靠蝕刻, 比較直覺, 另外一種則是靠Lift Off的技術, 用圖示意專有名詞比較容易了解, 以下附上圖. (The right one is a bit wrong,  the film was gone in second diagram)

通常在蝕刻時, 因為蝕刻的方式, 化學液材料而有(不)等向性的問題. 造成所謂的過度蝕刻, 或是蝕刻不足, 以下兩張圖用以示意這些名詞定義.